超純水(shuǐ)設備之---電子行業
電子行(háng)業為(wéi)什麽要用到超純水設備(bèi)?
去離子水(shuǐ)/超純水在電子工業主要是線路板、電子元器件(jiàn)生產中的重要作用日益(yì)突出,去(qù)離子/超純水水質已成為(wéi)影響線路板、電子元器件產品質量、生產成品率及生(shēng)產成本的重要因素之一,水質要求也越來越高。在電(diàn)子(zǐ)元器件(jiàn)生產中,去離子水/超純水主要用作清洗用水及(jí)用來配製(zhì)各種溶液、漿料,不同的電子元器件生產中純(chún)水的用途及對水質的要求(qiú)也不同。
在晶體管、集成電路(lù)生產(chǎn)中,超純水主要用於清洗矽片,另有少量用於(yú)藥液配製,矽片氧化的水汽源(yuán),部分設備的冷卻水,配製(zhì)電(diàn)鍍液等。集(jí)成電路生產過程中的(de)80%的工序需要使用高純水清洗(xǐ)矽片,水質(zhì)的好壞與集(jí)成電路的產品質量及生產成品率關係很大。水中的堿金屬(K、Na等(děng))會(huì)使絕緣膜(mó)耐(nài)壓(yā)不良(liáng),重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結耐壓降低(dī),Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)會使N型半導體特性惡化,Ⅴ族元素(P、As、Sb等)會使P型半(bàn)導體(tǐ)特性惡(è)化,水中細菌高(gāo)溫碳化(huà)後的磷(約占灰分的20-50%)會使(shǐ)P型(xíng)矽片(piàn)上(shàng)的局部區域變為N型矽而導致器件性能變壞,水中的顆粒(包括細菌)如吸附在矽片表麵(miàn),就會引(yǐn)起電路短路或特性變差。集成電路生(shēng)產對純水水質的(de)要求
對純水水質的(de)要求
電子超純水設備是保證電子 產 品 質量 安 全 促進電子業健康運行的(de)依據,電子超純水設備適用集成電路生產中高純水(shuǐ)清(qīng)洗矽(guī)片、半導體(tǐ)材料、晶元材料生產、加工,純(chún)水一號的電子工(gōng)業設備廣泛的用於在電(diàn)子(zǐ)業中,而且(qiě)在電子業中的地位更是蒸蒸日上成為業內發展的主導者。
電子行業超純水
目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業等級,分(fèn)別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同(tóng)水質。半導體、集成電路芯片及(jí)封裝、液晶(jīng)顯示、高精度線路板、光電器(qì)件、各種電子(zǐ)器(qì)件、微電(diàn)子工(gōng)業、大規模、超大規模集成電路需(xū)用大量的純水、高純水、超純水(shuǐ)清洗半成品、成品。集(jí)成電路的(de)集成度(dù)越高,線寬越(yuè)窄,對水質(zhì)的要(yào)求也越高
電子行業超純水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什麽雜質(zhì),更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物,當然也沒有人(rén)體所需的礦物質微量(liàng)元素。超純水,是一般工藝很難(nán)達到的程度,如水的電阻率大於18MΩ*cm,接近於18.3MΩ*cm則(zé)稱為超純水。目前,超純水設備的方法通常采(cǎi)用反(fǎn)滲透,去離子或電去離子(EDI)等工藝。